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往復式真空泵主要由機械傳動部分和機械抽氣部分組成，機械傳動部分分為曲柄和連桿機構，由電動機帶動皮帶輪，然后通過曲軸、連桿、十字頭傳遞給活塞，由皮帶輪的圓周運動變為活塞的直線運動。機械抽氣部分主要依靠活塞在汽缸內的往復運動來完成。氣缸內的活塞上有活塞環，保證被活塞間隔開的氣缸兩端氣密封性。活塞在氣缸內做往復運動時，不斷的改變氣缸兩端的容積，一端容積擴大吸入氣體，另一端容積縮小排出氣體。